1、 马氏体不锈钢1Cr13(410)基体为马氏体组织，有磁性，通过热处理可以调整其力学性能的不锈钢，通俗地说，是一类可硬化的不锈钢。马氏体的三维组织形态通常有片状或者板条状，但是在金相观察中通常表现为针状。高的强度和刚性是钢中马氏体的主要特征之一。焊接平台需要良好的强度和刚性，所以选用马氏体不锈钢1Cr13(410）。
2、铁素体不锈钢1Cr17(430)基体为体心立方晶体结构的铁素体组织（α相）为主，有磁性，这类钢具导热系数大，膨胀系数小、防氧化性好、抗应力腐蚀优良等特点。但塑性差、焊后塑性和耐蚀性明显降低等缺点，因而限制了它的应用。蜂窝平台不需要采用焊接工艺，且其强度和刚性主要靠内部紧密的蜂窝内芯提供，所以选用铁素体不锈钢1Cr17(430)。
3、 奥氏体不锈钢0Cr18Ni9(304)基体为面心立方晶体结构的奥氏体组织（γ相）为主，无磁性，奥氏体不锈钢由于含铬镍较高，气浮光学平台价格，耐腐蚀和防氧化性能较好，高韧性和塑性，具有良好的加工性和和可焊性。由于奥氏体不锈钢具有良好的综合性能，在各行各业中获得了广泛的应用。无磁平台需要不导磁，所以选用奥氏体不锈钢0Cr18Ni9(304)。
平台安装注意事项：隔振平台系统能不能运载到实验室固定位置，是一定要慎重考虑的。与工程人员、同事、或装配工一同走一遍安装路线——接收点、电梯、走廊、门口甚至窗口（如果需要使用起重机），可以发现可能存在的物流问题，并对系统方案做出必要的修改。其次需要注意的是实验室的配套设备，包括电压电流、照明、干燥气体供应（用于支持维持系统）以及空气调节系统。如果缺乏清洁的干燥气体，则需要使用高质量的空气压缩机。不洁或潮湿的气体会极大地影响气浮隔振系统，不合规定的电源会产生不必要的噪声，乃至精密电子设备的浪涌。
随着先进的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。
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