XRD倒易空间（RSM）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
XRD全称X射线衍射(X-RayDiffraction)，利用X射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后X射线信号特征，浙江XRD倒易空间（RSM）检测，经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相，并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷（位错）和晶格缺陷等。微区衍射（也称为射线微区衍射、微区X射线衍射或 uXRD)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化XRD测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射X射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。
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Jade将衍射峰宽度大于3°的峰为非晶峰。通过衍射图谱的拟合，可以直接得到样品的结晶度。
在计算结晶度时，XRD倒易空间（RSM）检测费用多少，同一系列的样品，应当选择相同的衍射角范围。
正确地分离晶相峰和非晶峰往往比较困难，比较容易实现的方法是只用Jade的“手动拟合”命令，而不使用自动拟合命令。拟合过程中，拟合的好坏并不能真实地从“R值”上表现出来，XRD倒易空间（RSM）检测服务，而应当仔细观察“误差放大线”的水平程度和光滑程度，越平越越光滑表明拟合得越好。不断地在不平直和不光滑的位置加入新的峰并进行拟合，终将得到一条拟合佳的曲线。
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X射线衍射仪(XRD)相关术语解释
密封式管
这是常使用的X射线管，它的靶和灯丝密封在高真空的壳体内。壳体上有对X射线“透明”的X射线出射“窗孔”。靶和灯丝不能更换，XRD倒易空间（RSM）检测机构，如果需要使用另一种靶，就需要换用另一只相应靶材的管子。这种管子使用方便，但若灯丝烧断后它的寿命也就完全终结了。密封式X射线管的寿命一般为1000—2000小时，它的报废往往并不是与因灯丝损坏，而是由于靶面被熔毁或因受到钨蒸气及管内受热部分金属的污染，致使发射的X射线谱线“不纯”而被废用。
可拆式管
这种X射线管在动真空下工作，配有真空系统，使用时需抽真空使管内真空度达到10－5毫帕或更佳的真空度。不同元素的靶可以随时更换，灯丝损坏后也可以更换，这种管的寿命可以说是的。
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