半导体XRD检测分析-半导体XRD薄膜测试

半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

常见问题

Q1、粉末样品量过少会有什么样的影响？

答：因为粉末样品要铺满整个样品台，样品量过少可能导致X射线打在样品台上，从而影响数据质量。

Q2、为什么部分样品的测试结果中衍射峰强度较低，甚至没有明显的衍射峰？

答：样品的衍射峰强度主要跟自身结晶度有关，结晶度越好，衍射峰越明显，四川半导体XRD检测，其次才是样品量和仪器功率。

Q3、步长和扫描速度有何关联？扫描速度对样品的测量有何影响？

答：步长决定了扫描的精细程度，扫描速度是由步长和每步的时间决定的，每步的时间长短会影响衍射峰的强度和信噪比。每步的时间越长，步长越小，则谱越精细，信噪比越高，可用于定量计算，如XRD精修等。

Q4、XRD定量的度如何？

答：XRD为半定量分析，定量测试结果度有限，仅供参考。

Q5、为何有些样品的测试结果基线较高？能否改善？

答：有荧光散射现象的样品，如铁含量较高的样品，测试结果会出现基线较高的情况，这是无法改善的。

Q6、Cu靶的波长是多少？

答：Kα1=1.540538埃。

欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多半导体XRD检测~

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X射线衍射仪的使用方法

（a）装填样品

按下衍射仪面板上的Door按钮，指示灯闪烁、蜂鸣器发出报警声，缓慢的向右拉开衍射仪保护门。

将样品表面朝上安装到样品台上，此时注意尽可能的将样品置于载物台的中心位置。

向左轻拉右侧门，两门自动吸住后报警声停止。

（b）设置仪器参数

点击桌面Right Measurement System图标，进入到软件控制界面

双击Condition下面的1，半导体XRD检测实验室，进入到测量条件的设置界面，半导体XRD检测平台，根据所测试样品要求，设置Start Angle（起始角）、Stop Angle（终止角）、Scan speed（扫描速度）等参数（注意：一般扫描电压和扫描电流这些参数不要更改）

条件设置好以后，关闭条件设置界面，返回主界面（注意：在设置参数的时候，XRD的起始角一般是大于3°，终止角小于140°，否则会使测角仪的旋转臂撞到其他部件，使测角仪受到损坏。）

点击Browse按钮，进入到保存文件对话框，设置文件保存位置和样品名称后，返回主界面

（c）开始测试

在主界面上点击Executement，系统开始调整KV、MA值，此时弹出新的测量窗口，直到测量完成，测量数据自动保存在所设置为保存位置。

（d）数据存盘

一般为了防止U盘存在病毒，拷取实验数据需要光盘，下面是一个光盘流程

（e）关闭系统

在测试的时候根据实际情况，如果后面仍有学需要测试，在完成自己样品测试后，将自己的样品取出即可。如果没有人测试，则按照下面的流程来关闭X射线

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X射线衍射仪(XRD)相关术语解释

粉末衍射仪

粉末衍射仪是目前研究粉末的X射线衍射常用而又方便的设备。它的光路系统设计采用聚焦光束型的衍射几何，一般使用普通的NaI(Tl)闪烁检测器或正比计数管检测器以电子学方法进行衍射强度的测量；衍射角的测量则通过一台精密的机械测角仪来实现。

 测角仪

是粉末衍射仪上精密的机械部件，用来测量衍射角。

 发散狭缝

测角仪上用来限制发散光束的宽度。发散狭缝的宽度决定了入射X射线束在扫描平面上的发散角。

接收狭缝

测角仪上用来限制所接收的衍射光束的宽度。接收狭缝是为了限制待测角度位置附近区域之外的X射线进入检测器，它的宽度对衍射仪的分辨能力、线的强度以及峰高/背底比有着重要的影响作用。

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