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广东省科学院半导体研究所

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广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,其前身是2010年10月在成立的广东半导体照明产业技术研究院。2015年6月经省**批准,由原广东省科学院、广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)、广东省测试分析研究所(中国广州分析测试中心)、广东省石油化工研究院等研究院所整合重组新广......

辽宁XRD残余应力检测-半导体XRD研究所

产品编号:100057189328                    更新时间:2023-09-03
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广东省科学院半导体研究所

广东省科学院半导体研究所

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XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

无i限制检索就是对图谱不作任何处理、不规定检索卡片库、也不作元素限定、检索对象选择为主相(S/M Focus on Major Phases)。

这种方法一般可检测出样品中的主要的物相。在对样品无任何已知信息的情况下可试着检索出样品中的主要物相,进而通过检索出来的主要物相了解样品中元素的组成。另外,在考虑样品受到污染、反应不完全的情况可试探样品中是否存在未知的元素。但是,这种方法不可能检索出全部物相,XRD残余应力检测哪里可以做,并且检索结果可能与实际存在的物相偏差较大,辽宁XRD残余应力检测,需要其它实验作进一步证实。

欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多XRD残余应力检测~


XRD残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


由于百分之一i百的晶态的试样比较难制备,所以通常使用差异分析法。假定结晶相百分数正比于衍射峰积分强度之和,非晶相百分数正比于非晶散射峰积分强度。

即Xc=PIc;Xa=QIa

则:Xc=Ic(Ic+kIa)X100%

【注意:Ic为晶体部分的衍射积分强度,XRD残余应力检测服务,Ia为非晶部分的衍射积分强度。K=Q/P,是晶体部分和非晶部分之间的单位物质的相对散射因子】

由上式已知,XRD残余应力检测平台,若温度K也已知,则即可求出样品的结晶点。但相对干同一个试模而言,K是常量。人们可利用测定二个不同结晶度的同一试模来计算出K值,从而得出试样的结晶度。

相对结晶度

如果将K值取1则Xc=Ic/(Ic+Ia),即为相对结晶度。

这个统计方法虽然不准确,但对试样也存在择优取向,且同晶相合非晶相的化学成分也相同,可认为,该法有比较意义。其实,得到结晶性相当麻烦,所以相对结晶度反而是比较常用的办法。

分析晶体衍射基础的公式是布拉格定律:2d sinθ=nλ

【注意:λ为X guang线的长度,n则为的正整数,即衍射级数】


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Jade将衍射峰宽度大于3°的峰为非晶峰。通过衍射图谱的拟合,可以直接得到样品的结晶度。

在计算结晶度时,同一系列的样品,应当选择相同的衍射角范围。

正确地分离晶相峰和非晶峰往往比较困难,比较容易实现的方法是只用Jade的“手动拟合”命令,而不使用自动拟合命令。拟合过程中,拟合的好坏并不能真实地从“R值”上表现出来,而应当仔细观察“误差放大线”的水平程度和光滑程度,越平越越光滑表明拟合得越好。不断地在不平直和不光滑的位置加入新的峰并进行拟合,终将得到一条拟合佳的曲线。


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