EBL微纳加工平台-半导体-上海微纳加工平台

微纳加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

　　MEMS代工的湿度传感器是由简单的湿敏电阻（电容）制作而成，湿敏电阻和湿敏电容测量湿度的原理呢？则是由湿敏电阻上面覆盖的一层高分子膜，这层膜会随着湿度的变化影响电阻的电导值或者电容的电容值，利用这种特性可以完成湿度传感器对环境湿度的测量。

　　湿敏元器件可以分为：电阻器式和电容传感器二种：

１、湿敏电阻的特性是在基片上遮盖一层用感湿原材料做成的膜，键合微纳加工平台，当空气中的水蒸汽吸咐在感湿膜上时，上海微纳加工平台，元器件的电阻和阻值都产生变化，运用这一特点就可以测量湿度；2、湿敏电容器一般是用高分子材料薄膜电容做成的，常见的纤维材料有聚乙烯、聚酰膜、酪酸醋酸纤维等。当自然环境湿度发生改变时，湿敏电容器的导热系数产生变化，使其容量也产生变化，其电容器变化量与相对性湿度正比。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多微纳加工平台~

微纳加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，电子束曝光微纳加工平台，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

聚焦离子束技术及其在微纳加工技术中的应用

聚焦离子束（FIB）技术是将离子源产生的离子束经过离子加速，聚焦后作用到样品表面并进行纳米加工。目前已广泛应用于半导体集成电路修改、切割和故障分析等。聚焦离子束技术也是集形貌观测、薄膜淀积、无掩模刻蚀和透射电镜样品制备等各功能于一体的新型微纳加工技术。

　　主要构成部分：离子源、离子光学柱、束描画系统、X-Y工件台和信号采集处理单元。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多微纳加工平台~

MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

MEMS代工的压力传感器设计制造步骤

MEMS代工的压力传感器是一种薄膜元件，它在受到外部的压力时会发生变形，可以通过电容感测两个面之间的距离变化来加以测量，通常应用于汽车行业，医u疗市场和工业领域。MEMS压力传感器是具有电源，接口电器，执行器，EBL微纳加工平台，微型传感器和信号处理的微型机电系统，尺寸小，性价u比高。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多微纳加工平台~