XRD摇摆曲线检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
解决的办法通常有3种:
(1) 换一张卡片试试
所谓结构精修,即以的某种物相结构为“初始值”进行反复地迭代修正,逐步逼近测量峰的位置。当所选卡片的峰位与测量峰位偏离太多时,因为“初始值”离真实值太远了,无法精修下去。如换张卡片,也就是改变初始值,则更容易精修。因为,换卡片只是改变初始值,XRD摇摆曲线检测机构,所以并不影响精修的结果。
(2) 选择All sible reflecti
如果样品为单相,则可以不进行物相检索,XRD摇摆曲线检测分析,在寻峰或拟合后直接选用全部衍射峰进行精修。另外,有时虽然Unable to Graft hkl‘s to peaks,但还是出现了精修的界面,选择All sible reflecti进行精修是可行的。
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XRD全称X射线衍射(X-RayDiffraction),利用X射线在晶体中的衍射现象来获得衍射后X射线信号特征,经过处理得到衍射图谱。利用谱图信息不仅可以实现常规显微镜的确定物相,并拥有“眼”来看晶体内部是否存在缺陷(位错)和晶格缺陷等。微区衍射(也称为射线微区衍射、微区X射线衍射或 uXRD)分析使用非常窄的光束来进行区域内的高度局部化XRD测量。这可以使用能减少射出×射线的入射光束准直器来实现。使用单毛细管可以产生直径约为50 um 的入射X射线束。微区衍射技术通常用于具有不同组成、晶格应变或优选取向微晶的小样品或非均质样品。
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Jade将衍射峰宽度大于3°的峰为非晶峰。通过衍射图谱的拟合,可以直接得到样品的结晶度。
在计算结晶度时,同一系列的样品,应当选择相同的衍射角范围。
正确地分离晶相峰和非晶峰往往比较困难,比较容易实现的方法是只用Jade的“手动拟合”命令,而不使用自动拟合命令。拟合过程中,XRD摇摆曲线检测哪家好,拟合的好坏并不能真实地从“R值”上表现出来,而应当仔细观察“误差放大线”的水平程度和光滑程度,越平越越光滑表明拟合得越好。不断地在不平直和不光滑的位置加入新的峰并进行拟合,终将得到一条拟合佳的曲线。
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