XRD小角度检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,宁夏回族自治XRD小角度检测,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,XRD小角度检测服务,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
X射线衍射仪(XRD)相关术语解释
定速连续扫描粉末衍射仪的一种工作方式(扫描方式),常用。试样和接收狭缝以角速度比1:2的关系匀速转动。在转动过程中,检测器连续地测量X射线的散射强度,各晶面的衍射线依次被接收。计算机控制的衍射仪多数采用步进电机来驱动测角仪转动,因此实际上转动并不是严格连续的,而是一步一步地(每步0.0025°)跳跃式转动,在转动速度较慢时尤为明显。但是检测器及测量系统是连续工作的。连续扫描的优点是工作效率较高。例如以2θ每分钟转动4°的速度扫描,扫描范围从20~80°的衍射图15分钟即可完成,而且也有不错的分辨率、灵敏度和度,XRD小角度检测报告,因而对大量的日常工作(一般是物相鉴定工作)是非常合适的。但在使用长图记录仪记录时,记录图会受到计数率表RC的影响,须适当地选择时间常数。
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微区XRD可以测试某个区域的XRD谱图,但是测试区域需要大于等于0.5 mm,不能太小。另外测试角度范围默认是5-90 °,其他角度需要先和老师沟通后再做决定。比如需要测试块体样品(尺寸要求是长宽一般1-2 cm,厚度不超过5 mm)上面某一个或一些小区域的XRD,就可以用微区XRD来测试。
微区XRD原理跟一般XRD一样,只是beam很小是微米级,因此可以准确研究不同区域内的晶相结构。微区XRD的x射线束斑更小些(这个通过调节狭缝可以实现)。而一般的XRD的束斑面积在几十个微米见方。微区衍射可以应用于许多衍射研究,包括以下表征:样品上具有巨大梯度成份的小斑点,例如,污染物、夹杂物、矿物样品、法医样品、古代绘画的微小横截面、考古样本、冶金工件、工具嵌件和图案化晶片。
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应力测量要注意的问题
●常规的X射线应力测试,只是对无粗晶和无织构的材料才有效,否则会给测试工作带来一定难度。
●对于非理想组织结构的材料,必须采用特殊的方法或手段来进行测试,但某些问题迄今未获得较为圆满的解决。
●如果晶粒粗大,各晶面族对应的德拜环则不连续,当探测器横扫过各个衍射环时,XRD小角度检测哪里可以做,所测得衍射强度或大或小,衍射峰强度波动很大,依据这些衍射峰测得的应力值是不准确的。
●为使德拜环连续,获得满意的衍射峰形,必须增加参与衍射的晶粒数目。
●为此,对粗晶材料一般采用回摆法进行应力测量。目前的大多数衍射仪或应力仪,都具备回摆法的功能。
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