当今社会已经进入了电子信息时代,硅疏水处理,微处理芯片的发明改变了世界,微电子、信息技术的水平已经被视为一个国家现代化水平高低的重要标志。硅经过提纯加工成单晶硅片,就是生产集成电路芯片的片基。亲水性和疏水性是硅片的重要物理性质,疏水处理 图书,对硅片的后期加工起着重要的作用。当硅片本身的亲疏水性无法达到加工制造的要求时,就要对硅片进行亲疏水处理,使其满足加工制造的要求。
亲水性(hydrophilic),简单疏水处理,对水具有亲合力的性能。如·:金属版材如铬、铝、锌及其生成的氢氧化物以及具有毛细现象的物质都有良好的亲水效果。在有机物中表现为羟基和羧基等的亲水性,即它们使该有机物易溶于水。 疏水性(hydrophobic),对水具有排斥能力的性能。如:印版图文的亲油成分和印刷油墨都具有良好的疏水性。在有机物中表现为和苯环等的疏水性,即它们使该有机物难溶于水。
即硅片表面必须由低能转化为高能表面。从A=r(SG)- r(SL)>0式可以看出:完成上述转化的条件为或者使r(SG).上升,或者r(SL)下降。由于清洗液大多为无机碱、酸的水溶液,知这时r(SL).几乎不变。因此,的方法是改变r(SG),疏水处理, 使之增加。由于结构完整的纯净硅表面r(SG)是固定的,要改变其r(SG),只能改变其表面结构。实际上,硅片经过清洗液洗后,表面Si大部分以O键为终端结构,即表面非定形SiOx结构,利用其高r(SG)值达到硅表面吸附水分子的效果。亲水处理后,硅表面结构
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