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快速的火花处理：快速的火花处理：在电场击穿放电时，因工频电源的可控硅不能实现及时关断，还将继续供电，直至电流过零，因而引起较大的电流冲击，而此冲击电流的能量又被用来气体电离，因而火花能量较大，等待电场恢复的时间比较长。而在高频电源的情况下，因高频电源供电每个脉冲的时间很短，一旦检测到火花发生可以立刻关闭供电脉冲，因而火花能量很小，等待电场恢复的时间就少得多。

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