




检漏仪的故障和处理
1设备的分子泵不启动
分子泵不启动,天津氦质谱检漏仪公司,主要有检查供电和前级真空是否正常(较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动)。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。
2设备的质谱室不能正常工作
质谱室主要是灯丝无法正常加电,在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后,小型氦质谱检漏仪公司,若灯丝仍无法发射离子流,则需要更换离子源。
3前级机械泵工作不正常
主要经常观察泵油的颜色是否正常,粉尘的污染会使油色变黑,水汽会使油色呈现乳白色,都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动,过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作,使用机械泵的环境温度在+10至+40之间使用。

氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面
1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。
2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。
3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节0点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜择功能,一个按钮即可完成全检漏过程。
4.全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
5.检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不仅可检测氦气,而且能检测其它气体。


氦质谱检漏仪的校准方法
氦质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
氦质谱检漏仪原理:
氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,便携式氦质谱检漏仪公司,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。
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