










采用压力控制器方案,控制往真空腔体内充入的惰性气体的压力以营造一个控制良好的镀膜环境。与反应腔体直接连接的外置真空计测量持续的过程压力,该压力读数通过模拟信号传输到压力控制器并显示。
进入腔体内的参与反应的气体的流量由质量流量控制器控制。因为上述的压力控制器可以测得腔体内的压力、并通过调节非反应类气体的含量实时调节过程压力,从而使腔体内形成利于沉积的镀膜环境。

陶瓷绝缘涂料耐温600℃以下,真空镀膜加工,采用无机-有机聚合物基料,体积电阻率高、结构紧密的无机晶体材料组成,如氧化铝、氮化硅等为填料,以陶瓷微粒为高温成膜物为主,组成耐高温绝缘涂料。在生产过程中严格控制原材料配比,五金真空镀膜,避免杂散离子,尤其碱金属或碱土金属离子的引入;尽量减少玻璃相的含量,并尽量降低为改善工艺性能而加入的玻璃相的导电率。在生产过程中,还注意严格控制引入铁,钴等可变价金属离子,以免产生自由离子和空穴。

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