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1、电子是在原子核外距核由近及远、能量由低至高的不同电子层上分层排布。2、每层多容纳的电子数为2n2个（n代表电子层数）。3、外层电子数不超过8个（层不超过2个），次外层不超过18个，倒数第三层不超过32个。4、电子一般总是尽先排在能量的电子层里，即先排层，当层排满后，再排第二层，第二层排满后，再排第三层。
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电子束平版印刷术是一种分辨率小于一毫米的蚀刻半导体的方法。这种技术的缺点是成本高昂、程序缓慢、必须操作于真空内、还有，电子束在固体内很快就会散开，很难维持聚焦。后这缺点限制住分辨率不能小于10nm。因此，电子束平版印刷术主要是用来制备少数量特别的集成电路。
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低能电子衍射技术（LEED）照射准直电子束于晶体物质，然后根据观测到的衍射图案，来推断物质结构。这技术所使用的电子能量通常在20～200eV之间。反射高能电子衍射（RHEED)）技术以低角度照射准直电子束于晶体物质，然后搜集反射图案
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