




硅片直径为100um,温升1度,上升0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,湿度也要求值一般较低,高效送风口,因为人在出汗,产品会有污染,特别怕大半导体车间,车间温度不应超过25度,湿度高的问题较多。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会结露,如果在精密设备或电路中发生,会引起各种事故。当相对湿度为50%时,容易生锈。

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空气从洁净室天花板上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样,气流向下流过房间,把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后,再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除,高效送风口尺寸,而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里,风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里,机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。

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