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净化工程单向流动洁净室一般有两种类型，即水平流动和垂直流动。在水平流动系统中，舟山工作台，空气从一面墙流向另一面墙。在垂直气流系统中，空气从天花板流向地面。当洁净室内悬浮颗粒或微生物浓度较低时，采用单向气流。这种洁净室以前被称为“层流”洁净室。单向流和层流的名称描述的是空气在一个方向（垂直或水平）以0.3到0.5米/秒（60到100英尺/分钟）的平均速度通过空间的流动。
净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的，但在满足工艺要求的条件下，也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高，对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出，但作为一般原理，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。
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