考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，派瑞林镀膜，可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极（往往是钨丝）在反应气体中很快就烧掉了，另外就是离子流量有极限，对需要大离子流量的用户可能不适和。
霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。
派瑞林涂层用于电子产品（如电路板、传感器、马达转子、LED等），可增强线路的嵌接、消除临界表面上的潮湿气、金属离子和其它污染物，且不改变电阻、电热偶和其它元件的功能。主要起到防潮防水，耐腐蚀的防护效果。
派瑞林parylene涂层用于磁性材料，能克服磁性材料磨损中心磁性绕组电线失去绝缘性，这一缺陷，可形成耐摩擦的内表面，从而可加速延展和绕组过程.同时可以增加铁氧体等磁性材料的介电性及耐高压性能。主要起到绝缘、防锈、耐盐雾的防护效果。
派瑞林Parylene涂层用于硅橡胶制品，在硅橡胶产品的表面形成一种均匀而极薄（2-3μm）且与原产品表面轮廓相一致的聚合物保护层。主要起到润滑、防尘、耐磨、抗老化的防护效果。
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