派瑞林涂层薄膜的止回阀。微阀具有扭曲型的派瑞林涂层膜， 当有流体顺流时， 派瑞林涂层薄膜抬起， 允许流体通过; 当有流体逆时，派瑞林涂层薄膜封住了通道阻止其流动。该结构的微阀顺流冲破压力小于0. 5 kPa， 逆流的制止压力达600 kPa以上， 同时具有较低的反向泄漏， 性能非常好。由于派瑞林涂层较小的杨氏模量， 产生了较大的变形， 基本可以忽略由薄膜引起的流体阻抗。单通道常闭微止回阀， 整个微阀和微通道都是由派瑞林涂层 C制成的， 其结构为在圆形阀座上的一个圆形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的顶部中心， 由于大气压强使子腔压缩到底部，派瑞林加工镀膜公司， 从而获得微阀的闭合模式。这种新型的子腔结构是通过没有层结构的释放和在真空条件下派瑞林涂层薄膜的气相沉积来实现的。通过减小密封板和阀座的重叠面积和溅射金属金来减小静摩擦力， 从而减小顺流冲破压力。此种结构的微阀的顺流冲破压力为20～40 kPa， 在逆流压力为270 kPa也不会出现可见的泄露现象。
由于派瑞林涂膜是在常温下以带有双游离基活性单体沉积的，先是单体沉落附着在印制板组件基体上，然后才是各单体的活性键的键合，增城派瑞林镀膜，从而连成一片，形成一个整体膜层。通过长期使用，我们发现，派瑞林纳米真空镀膜，涂敷层的各点就是一个独立的保护点，当局部涂层损坏时，不会严重地影响其周边区域涂层的防护性，同时涂敷层的各点又通过化学键连接一起，形成整体，更增强了其防护性能。
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