









MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面,已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件,在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器,为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域,MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中,可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等;可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况,协助佩戴者提起重物、快速走动等;集成了柔性触力传感器的人造皮肤,汕尾派瑞林,可以用于义肢上,派瑞林涂层防水,感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一,派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。

材料不相容性:聚对二涂层和待粘附的基材表面需要粘合在一起。聚对二与待覆盖表面之间的不相容性产生了聚对二和衬底相遇的表面能的不协调; 在这些情况下,只有小的粘合发生,如果它发展,经常导致分层。
涂层孔隙率:在聚对二涂层和表面之间的区域中产生蒸汽压差,导致易受水分侵入和渗透到PCB的影响。随之而来的温度和压力的波动产生渗透压,其可以将涂层与基底分离。

派瑞林(parylene)材料本身的阻挡特性远优于其它高分子涂层,作为一种阻挡层可有效地防止各种阴阳离子的扩散迁移,从而可靠地保护产品;派瑞林(Parylene)涂层工艺有效阻止了离子在涂层和产品基板界面的扩散,大大减少了常见的涂层内腐蚀。
派瑞林(parylene)材料作为涂层,派瑞林(parylene)超薄、无孔隙、均匀、同形性好、耐腐蚀、与人体组织及血液相容等一系列优点,使其在生物医学领域应用广泛,派瑞林镀膜, Parylene不仅提供了惰性、生物相容的隔离层,可有效防止外界的化学品、水分和体液的侵蚀,同时增加了器件表面的干润滑性和绝绿性能。

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