具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。 净化工程所特别设计的房间简称为：洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等，主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等，净化车间多少钱一平米，施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工质量有认识，否则，施工质量很难得到保障。
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。无尘车间净化原理：气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→送风口→洁净室→带走尘埃 → 回风夹道→新风、初效空气处理。
洁净室内的嵌壁器械柜与墙体之间、壁板上安装的插座、开关、照明箱体及灯带、观片灯等都需要用密封胶进行密封，且器械柜中的各种管道和箱体之间也都必须采用可靠和有效的密封措施。排风系统有一般排风系统、有机气体排风系统、酸性气体排风系统、碱性气体排风系统等，净化车间设计时，要根据实际情况选择。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工质量，如板材与板材之间应均匀涂密封胶，达到严密不漏风。
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