当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子形式的安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev?，喷塑烘干废气处理设备，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。在强大电场能量轰击下污染气体分子化学键被打断，转化为无污染的小分子。电离后的气体分子颗粒，分子团，可以通过等离子管壁吸附下来，成液体状从设备排泄口流出。氧分子电离后重新结合成高浓臭氧，有机气体在臭氧的强氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子无污染成份。
常见废气处理设备部件：1、燃烧设备燃烧装置是废气处理设备的设备，起着至关重要的目的;主要是利用燃烧反应，对废气和空气燃烧，把废气分解成二氧化碳、水或固体氧化物等，来达成vocs废气处理问题。2，收集装置收集装置是构成循环系统的一部分，将vocs废气收集、检测等工作;减少废气中粉尘，防止粉尘堵塞吸附设备。步是将vocs废气收集排入至废气处理设备内部进行燃烧处理，在废气进入燃烧室时，会进行废气检测;将不溶解的vocs废气，从设备的顶部排出去。
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