当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184。9nm-253。7nm)，促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
常见废气处理设备部件：1、燃烧设备燃烧装置是废气处理设备的设备，起着至关重要的目的;主要是利用燃烧反应，对废气和空气燃烧，把废气分解成二氧化碳、水或固体氧化物等，rto废气处理设备，来达成vocs废气处理问题。2，收集装置收集装置是构成循环系统的一部分，将vocs废气收集、检测等工作;减少废气中粉尘，防止粉尘堵塞吸附设备。步是将vocs废气收集排入至废气处理设备内部进行燃烧处理，在废气进入燃烧室时，会进行废气检测;将不溶解的vocs废气，从设备的顶部排出去。
吸附装置，吸附装置是减少燃烧装置压力的设备，用来提高废气浓度的一步，可以让vocs废气可以更加充分的反应。而吸附设备会减少气体的臭气、刺激性等，通过吸附装置的作用，实现废气在设备中的反复再生，并达到清除废气中物并接收管中有效气体的过程。风机管道。风机是较为常见的设备，一般是废气处理设备的必备产品;其主要的作用是将废气收集、传输等工作任务，同时还可以增加废气之间的净化效率。
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