目前市场上定向微焦点x射线设备的焦点尺寸可低至0.25-3μm，并可以在0-300kV内连续工作，靶功率为300W，发射功率可达350W。为了散发高能量产生的热量，管头通常采用外部水冷却或内部水冷两种。采用开放式涉及，失效分析，可以打开管头更换不同的阳极靶，以满足特殊检测需求。还可以改变管头窗口，设备失效分析，甚至移走靶，用阳极棒取代。这些管头阳极棒的直径为3~80mm，失效分析仪，长度可达1500mm。因为阳极棒直径比较小，所以能对管类工件进行单壁透照，获得较高缺陷检测灵敏度和分辨率。
在选择微焦点x射线源时需考虑X射线束的视野直径，即射线束的出射角。当需要在小焦距下完成微焦点射线照相时，出射角尤其重要。如40°出射角的管头相对于20°的管头，当在焦距一定，透照相同检测面积时，需要的曝光次数较少。 焦点至管头x射线窗口端面的小距离决定了被检测物体离射线源的小距离，决定了系统可以得到的大几何放大。
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