实验室供气系统气体管路
指气瓶至仪器终端之间连接管线，一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成，输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。
使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高质量的、完全退火、无缝不锈钢SS-316L。所有氧气管路都需完全清理干净，使其适合氧气使用。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。
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气净化设备
第I种
直接脱氧法。就是使用活性金属、催化剂与气中的氧气进行反应，消化掉气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉气中的水份，使气的含水量小于1ppm。
第II种
是采用吸气剂。在一定温度下，吸气剂可吸收氮、氢、氧、、二氧化碳、等气体经吸收处理后，气的纯度可达到6个九，这种工艺生产出来的高纯气体适用于各类仪器仪表适用要求。
第I种方法设备投资小，第II种方法设备纯化纯度高但投资相对较大。
大宗特气供气系统介绍
大宗特气供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、NF3）、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用1的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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