




1.洁净空间压力高于不洁净空间压力。
2.洁净度高的空间压力高于相邻的洁净度低的空间压力。
保持压力差的方法是用新风量来补偿在压力差下通过间隙排出的空气量。因此,压差的物理意义是对通过洁净室各种间隙的泄漏(或渗透)风量的阻力。
净化工程洁净室的气流速度
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,超净工作台的原理,其他洁净空间的气流速度将在具体设备的讨论中进行说明。

空气从洁净室天花板上的空气过滤器输送到房间。就像空气活塞一样,超净工作台的型号,气流向下流过房间,合肥超净工作台,把污染物带出地面。与外部的一些新鲜空气混合后,再循环到空气过滤器。由人员和工艺产生的悬浮污染可以被这种空气立即清除,而湍流通风系统使用混合和稀释原理。在没有任何障碍物的空房间里,风速低得多的单向气流可以迅速清除污染物。但在手术室里,机器和在机器周围走动的人会对气流造成障碍。

净化工程技术对半导体和集成电路生产的意义:
半导体材料的提纯是半导体器件发展的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为了获得高纯度的硅材料,原料和中间介质的高纯度以及生产环境的洁净度成为影响产品质量的突出问题。IC芯片的良率与芯片的缺陷密度有关,芯片的缺陷密度与空气中的颗粒数有关。因此,随着集成电路的快速发展,不仅要控制空气中粒子的大小,还要进一步控制粒子的数量。

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