1、加热：属于热处理加工的一道工序，材料不同，其加热工艺和加热温度也不同。（1）加热温度在临界点以下，材料不发生组织变化；（2）加热温度在临界点以上，能够获得奥氏体组织。2、保温：热处理保温这一点的目的是使工件烧透，防碳、氧化等。保温时间和介质的选择与工件的尺寸和材质有直接的关系，横沥真空热处理，一般工件越大，桥头真空热处理，导热性越差，保温时间就越长。3、冷却：主要是控制冷却速度，属于热处理的工序，也是重要的工序。
少无氧化加热金属。在空气和氧化介质中加热会发生氧化造成金属的损耗，而氧化会破坏零件和制品的表面状态和精度。如果采用中性、惰性气体保护，涂以保护涂料或用不锈钢箔包裹，在深度真空中加热可完全避免氧化。此外，加热时间很短的电感应方法，盐浴和流态床加热都可使金属的氧化降到较低程度。少无脱碳。例如钢件在空气等氧化气氛中加热、与表面氧化的同时还伴随表面含碳量的降低，真空热处理，形成表面脱碳。
经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40~400%，而有许多工具的寿命可提高3~4倍左右。此外，真空加热炉可在较高温度下工作，增城真空热处理，且工件可以保持洁净的表面，因而能加速化学热处理的吸附和反应过程。因此，某些化学热处理，如渗碳、渗氮、渗铬、渗硼，以及多元共渗都能得到更快、更好的效果。
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