软氮化，软氮化的学名是“氮碳共渗”。渗入钢表面的元素以氮为主，同时添加了碳。 软氮化实质上是以渗氮为主的低温氮碳共渗，与硬氮化相比，渗层硬度较低，脆性较小，故称为软氮化。软氮化方法分为气体软氮化和液体软氮化两大类。目前国内生产中应用广泛的是气体软氮化。气体软氮化是在含有活性碳、氮原子的气氛中进行低温碳、氮共渗，温度常用560～570℃，氮化时间常为2～3小时。气体软氮化目前存在问题是表层中铁氮化合物层厚度较薄（0.01～0.02mm），且氮化层硬度梯度较陡，东坑真空热处理，故不宜在重载条件下工作。“软氮化”含义不是指获得的硬度比所谓的“硬氮化”的硬度低，而是含有简便、省事、费用低的意思。
真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，寮步真空热处理，特别是工具、模具和精密耦件等。众所周知零件经真空热处理后，畸变小，质量高，且工艺本身操作灵活，无公害。
经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40~400%，真空热处理，而有许多工具的寿命可提高3~4倍左右。
真空热处理加工技能的特色，真空热处理加工是和可控气氛齐头并进的运用面很广的无氧化热处理技能，大朗真空热处理，也是当前热处理生产技能程度的首要标志之一。真空热处理不仅能够完成钢件的无氧化、无脱碳，并且还能够完成生产的和工件的少畸变，因此，它还归于清洁和生产技能范畴。现在，它已成为工模具生产中不行代替的技能。
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