少无氧化加热金属。在空气和氧化介质中加热会发生氧化造成金属的损耗，而氧化会破坏零件和制品的表面状态和精度。如果采用中性、惰性气体保护，大朗真空热处理，涂以保护涂料或用不锈钢箔包裹，在深度真空中加热可完全避免氧化。此外，加热时间很短的电感应方法，盐浴和流态床加热都可使金属的氧化降到较低程度。少无脱碳。例如钢件在空气等氧化气氛中加热、与表面氧化的同时还伴随表面含碳量的降低，常平真空热处理，形成表面脱碳。
对亚共析钢，正火用以消除铸、锻、焊件的过热粗晶组织和魏氏组织，轧材中的带状组织；细化晶粒；并可作为淬火前的预先热处理。
对普通中碳结构钢，石排真空热处理，在力学性能要求不高的场合下，可用正火代替淬火加高温回火，不仅操作简便，而且使钢材的组织和尺寸稳定。
高温正火(Ac3以上150～200℃)由于高温下扩散速度较高，可以减少铸件和锻件的成分偏析。高温正火后的粗大晶粒可通过随后第二次较低温度的正火予以细化。
调质件大都在比较大的动载荷作用下工作，它们承受着拉伸、压缩、弯曲、扭转或剪切的作用，有的表面还具有摩擦，要求有适宜的耐磨性等等。总之，零件处在各种复合应力下工作。这类零件主要为各种机器和机构的结构件，如轴类、连杆、螺柱、齿轮等，真空热处理，在机床、汽车和拖拉机等制造工业中用得很普遍。尤其是对于重型机器制造中的大型部件，调质处理用得更多.因此，调质处理在热处理中占有很重要的位置。
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