质量流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1， 是要选择耐压符合要求的MFC; 2， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3， 要在MFC气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀，气体流量控制模块厂家， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点， MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?
质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa， 若压差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压，气体流量控制模块， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。
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FSCU 用途
将 FSCU 嵌入到应用系统中，FSCU 可通过触摸屏、PLC、PC 软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器（如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止阀，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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