氦检漏设备
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14～10-15Pam3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。
真空箱式氦检漏设备
适用对各类被检要求气密性漏率的产品（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，向工件内充入规定压力的SF6工作气体。系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，充气柜氦质谱检漏仪哪家好，保证了系统的可靠性和可维护性。设备适应用电力行业，家用空调，制冷行业，汽车行业，新能源行业的气密性检测、应具有气体充注。大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，充气柜氦质谱检漏仪公司，操作简便、可靠、安全。
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本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。
本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。
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主要技术参数及要求：
1、 真空箱尺寸：长00mm×宽00mm×高00 mm
充氦气压力：0.05Mpa（可调）
2、 工作节拍：＜40分钟/件
3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。
4、 氦气回收率：95%-98%
5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S
(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)
6、 保压检测时间：（1-600S可调）
7、 工件真空≤1000Pa
8、真空箱检漏真空≤20 Pa
9、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s
10、箱门开关方式：自动
真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。
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