氦质谱检漏仪是否有精度级别一说？
所谓的精度终指向的是--测试氦分压 （微观为个数，宏观则表现为在容器壁上的压力）（空气中5ppm氦气）
（1）吸质谱检漏，假定流量为300 sccm， 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s，但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7，是因为加入了软件滤波（抑零）等。
（2）真空法，氦本底=分子泵抽速（辅助泵有则加上）*腔体内氦浓度*入口处压力，有很多外部条件。
氦质谱检漏器的主要性能指标
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，空调真空镀膜机检漏生产厂家，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，天津真空镀膜机检漏生产厂家，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间
氦检漏服务
在填充检漏气体之前，有必要快速测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力，充气柜真空镀膜机检漏生产厂家，则表明没有大的泄漏孔，可以填充泄漏检测气体。
如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试，那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此，在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。
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