





由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,静音房价格,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。按气流的流动状态分根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室

根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。(3) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。

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