真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
如何选择正确的气体检测解决方案
确认所要检测的气体种类和浓度范围
每一个生产部门所遇到的气体种类都是不同的。在选择气体检测仪时要考虑到所有可能发生的情况。如果和其它毒性较小的烷烃类居多，选择LEL检测仪无疑是为合适的。这不仅是因为LEL检测仪原理简单，河北真空真空镀膜机检漏，应用较广，真空真空镀膜机检漏多少钱，同时它还具有维修、校准方便的特点。当然在一些人员罕至、维护不方便的区域，或者可燃气泄漏（比如罐体内等密闭空间），真空真空镀膜机检漏公司，采用红外可燃气体检测器不失为一种较好的选择。
氦泄漏检测应用
氦质谱检漏仪是以氨气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便检测迅速等特点是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氨气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。
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