




气体质量流量控制器的密封材料如何选择?
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意,气体质量控制器价格, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,气体质量控制器哪家好, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。

如何通过质量流量控制器判断有没有气体通过?
可以使用惰性气体接到MFC进气端,然后将出气口接一根软管再通进水里,如果软管口有气泡冒出,证明MFC是有气体通过的,不过需要注意防止液体倒吸进MFC内,也可以用手将出气口堵死,观察瞬时流量是否有下降,如果有下降,也证明有气体通过,此时堵住出气口的手指也能感受到一定的压力。

选择气体质量流量控制器和订货时应当注意什么?
(1) 注意选择正确的品牌
一般应当衡量生产厂家的产品质量﹑销售价格﹑售后服务﹑技术水平﹑产品特点﹑生产规模﹑企业信誉等因素。
(2) 注意选择正确的工作压力指标
不同的产品工作压力指标可能不同,气体质量控制器,注意选择适合自己的产品。质量流量控制器(MFC)除耐压之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,气体质量控制器厂家,即MFC进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。
(3) 注意选择合适气体、流量规格、精度和接头形式和接口尺寸。
除了气体种类,流量范围外准确度和接头形式也很重要,常见的接头形式有卡套接头和VCR接头,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法兰接头。具体接口尺寸需要根据流量范围来定制。

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