




对于紊流洁净室,由于主要依靠空气的稀释作用来降低室内污染程度,所以主要采用换气次数的概念,高效送风口,而不是直接采用速度的概念,但对室内空气流动的速度也有以下要求;
1.送风口出口处的气流速度不宜过大。与简单空调房相比,速度衰减更快,扩散角更大。
2.吹过水平面的气流速度(如车损时的回流速度)不宜过大,高效送风口尺寸,以免将表面颗粒吹回气流中,造成二次污染,此速度不宜干燥0.2m/s。
对于平流洁净室俗称层流洁净室,因为它主要靠“活塞挤压作用的气流来排除污染”,所以截面上的速度是一个非常重要的指标。以往全部参考美国20gB标准,采用0.45m/s。但人们也明白,高效送风口厂家,这样大的风速所需要的通风非常大,为了节约能源,也都在探索降低风速的可行性。

净化工程是一个具体的范围,在一定的空间范围之内,可以清除空气里面的微粒,有害空气和细菌等一些污染物。并且在一定的范围之内可以实现照明静电,而且还有一个专门为这个工程所设立的房间。就是不管失败的条件怎么去改变,那么这里面的环境始终都是保持着原有的状态的,而且清洁度很好。简单一点去讲的话,净化工程系统包含很多,首先是信封结构,比如顶部墙壁土地这几个部分包括很多还有就是这个电气风管系统照明怎么样排气管和这个末端控制装置以及强弱电的系统有没有设置好。

净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的,高效送风口规格,但在满足工艺要求的条件下,也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出,但作为一般原理,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。

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