涡旋真空泵公司-北京涡旋真空泵-科创真空公司

涡旋真空泵的应用领域

涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。

涡旋真空泵组成与工作原理

无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成，涡旋真空泵价格，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，涡旋真空泵哪家好，通过吸气、压缩、排气的循环，涡旋真空泵公司，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。

主要用途

真空镀膜机，分析测试仪器，真空排气/回收装置，真空炉，排气台，高能束线，等离子清洗，北京涡旋真空泵，检漏仪，真空包装机，真空吸附搬运。

涡旋真空泵的工作原理

涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘付啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差，这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线(在横截面上是几个点)上接触形成几对月牙形封闭腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。曲轴每转一圈，就有一组新的月牙封闭腔形成，所以涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环在电机的带动下被连续重复，对被抽气体形成包容和强制输送。