




气体质量流量控制器工作原理
气体进入进气管道接头后大部门流量流过分流器通道,其中很小一部门进入传感器内部的毛细钢管。因为分流器通道的特殊结构,可以实现这两部门气体流量成正比例关系。传感器经由预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理丈量这一小部门气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,气体质量流量计控制器,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,经由放大后输出,就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,气体质量流量计控制器厂家,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了MFC的功能。

气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

气体质量流量控制器显示方式有哪些
1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式,测量的精度高,多款外形尺寸可选,双四位的LED显示,支持电流、电压的输入方式,可带多个控制点、多窗口显示,适用于流量等过程量的监测,是一款非常高的产品。
2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示,除了具有精度等级高,气体质量流量计控制器公司,线性精度好以外,操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。
3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式,气体质量流量计控制器报价,适合多气路以及产品的集成,一键启动,人机界面,具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固耐用、节省空间等优点,是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。

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