法 将硫磺或其他硫化物在和二存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。与氟燃烧法。联产法 氯氟代和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。 [3] 作用用途编辑1、新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
防护
就人体而言，防护的重点是眼部和呼吸道;其次是人体的皮肤，至此，我们就可以针对性地选择相应的防护用品及装备。 呼吸系统是生命存活的三大要素，必须首先考虑。由于泄漏污染区可能有多种有毒气体的存在。若采用过滤式防毒面具，因其是负压式，防护安全系数较低，人吸气时带入毒气的可能性较大，对于有多种毒气存在，毒性较大且其浓度不确定的场所，选用过滤式面具是不合适的。
采用正压式空气呼吸器可以完全隔绝毒气，不考虑毒气种类的多少、浓度的高低，所以正压式空气呼吸器是首i选的防护产品。但在选择正压式空气呼吸器品种时，应考虑毒气是否直接致人死i亡这一因素，六氟化硫是什么，以便正确选用。 当出现有毒气体泄漏后，现场人员应就近采用防护器具--如逃生器，并迅速撤离泄漏污染源，中i毒人员脱离现场至空气新鲜处，必要时采用氧气复苏仪或人工呼吸就地抢救;应急处理人员必须佩带空气呼吸器、穿戴相应的防护服和手套后进入事故区，对现场通风对流，稀释扩散。进入高浓度区域作业，必须有人监护。
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