真空箱式氦检漏设备
在电力行业高压环网柜生产中的应用
真空箱式氦检漏设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。
一、内腔表面光洁度（现设备腔体都是用的热板）固光洁度镜面处理达到“▽7”
做为设备验收标准。
二、腔体外部面板烤漆处理确保色泽均匀、亮度提升，加强筋及焊口、焊接时残留焊瘤、焊渣、上漆时进行多面抛光研磨处理。
三、设备腔体部分选用SS304板10mm厚，油箱氦质谱检漏仪生产厂家，腔体法兰选用SS304板成活30mm.加强筋选用30mm*120mm.门面板成活15mm.确保腔体部分厚实、美观。以此数据作为验收标准。
四、设备外围护网选用40mm*40mm*5mm方管。网格选用φ8mm*8mm确保护栏厚实美观。（漆色执行用户技术要求外观颜色）
七、控制柜操作台材料选用2.5mm板材。喷塑涂层外观喷涂后距离300mm.自然光或40W日光灯下视线与涂层45°角观察表面平整、光亮、流平性好。桔纹手感不明显。不得有流痕，麻坑、缩孔、颜料se斑等缺陷，厚度50-80μm。操作台抽屉进出顺滑、平稳。依据以上作为验收标准。
八、工件小车托盘（见设备图纸作为验收依据）
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半导体设备及材料需要检漏原因
1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；
2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；
3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。
4、芯片封装，油箱氦质谱检漏仪价格，一旦出现泄漏，芯片就会失效。
检漏设备在检测时需要留意的事项
运用检漏设备检测气密性的时分，留意不要随意拔下配管。其在加压状态下，油箱氦质谱检漏仪报价，制止取下衔接仪器和减压阀之间的一个接头和配管。也正是由于如此，其很多的压缩空气吹出，这样来讲的话，其实也便是会对人形成很大的损伤；再者，其在反常状态下其实也便是要制止进行运用。
检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分，其实也便是不要进行检测。否则的话，它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲，这样来讲，其实也便是会对人形成很大的损伤；在走漏测验完毕的时分，记住把空气扫除洁净之后，其实也便是要撤除被测物。
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