净化工程洁净室温湿度控制净化工程洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求来确定的，但在满足工艺要求的条件下，高效送风口尺寸，也要考虑到舒适度。随着空气洁净度要求的提高，对温度和湿度的要求也有越来越严格的趋势。具体工艺对温度的要求后面会列出，高效送风口，但作为一般原理，高效送风口品牌，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如，在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，玻璃与作为掩模材料的硅片之间的热膨胀系数差要求越来越小。
1.洁净空间压力高于不洁净空间压力。
2.洁净度高的空间压力高于相邻的洁净度低的空间压力。
保持压力差的方法是用新风量来补偿在压力差下通过间隙排出的空气量。因此，压差的物理意义是对通过洁净室各种间隙的泄漏（或渗透）风量的阻力。
净化工程洁净室的气流速度
这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，其他洁净空间的气流速度将在具体设备的讨论中进行说明。
净化工程技术对精密机械和精细化工的意义：
随着科学技术的发展，高效过滤送风口，许多工业产品的生产加工对生产环境中的粉尘浓度提出了极高的要求，要求生产环境具有一定水平的洁净空气，控制生产过程中所需的各种相关物质的供应质量。比如在胶片制作中，如果胶片被灰尘污染，感光乳剂就会被氧化，活性减弱，pH值发生变化，从而影响胶片的感光性能。
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