电机
伺服电机内部的转子是永磁铁，驱动器控制的U/V/W三相电形成电磁场，转子在此磁场的作用下转动，音圈电机，同时电机自带的编码器反馈信号给驱动器，驱动器根据反馈值与目标值进行比较，调整转子转动的角度。伺服电机的精度决定于编码器的精度（线数）。
交流伺服电机和无刷直流伺服电机在功能上的区别：交流伺服要好一些，因为是正弦波控制，转矩脉动小。直流伺服是梯形波。但直流伺服比较简单，便宜。
直线电ji定位精度可达0.1μm。“旋转伺服电机+滚珠丝杠”较高达到2~5μm，音圈电机制作，且要求CNC-伺服电机-无隙连轴器-止推轴承-冷却系统-高i精度滚动导轨-螺母座-工作台闭环整个系统的传动部分要轻量化，光栅精度要高。
若想达到较高平稳性，“旋转伺服电机+滚珠丝杠”要采取双轴驱动，直线电机是高发热部件，需采取强冷措施，要达到相同目的，直线电机则要付出更大的代价。寿命方面直线电机因运动部件和固定部件间有安装间隙，无接触，不会因动子的高速往复运动而磨损，长间使用对运动定位精度无变化，适合高i精度的场合。而滚珠丝杠则不适合，滚珠丝杠则无法在高速往复运动中保证精度，因高速摩擦，会造成丝杠螺母的磨损，影响运动的精度要求。
矩形音圈电机与圆柱型音圈电机相比较，矩形音圈电机产生较小的推力，但其行程相对较长。其推力达1000N，较大行程可达250mm。矩型音圈电机可单独使用，对产生X-Y轴运动是很理想的产品，而其市场主要指向半导体和微机床工业领域。
高压电机维修检查电机的外表有无裂纹，各紧固螺钉及零件是否齐全，音圈电机厂，惦记的固定情况是否良好。扳动电机转轴，检查转子能否自由转动，转动时有无杂声。如电压、功率、频率、联结、转速等与电源、负载比较是否相符。检查电机传动机构的工作是否可靠。
