离子镀
在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离，并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。可将离子发生源与工作室分离，克服了溅射镀膜为了持续放弧而必须保持较高的工作气压的缺陷，高能离子对衬底和沉积薄膜表面的轰击保证了薄膜的附着力和质量，是一种结合了蒸发镀膜和溅射镀膜优势的PVD技术。
根据离化方式的不同，常用的离子源有考夫曼离子源、射频离子源、霍尔离子源、冷阴极离子源、电子回旋离子源等。
涂层种类选择
1）氮化钛涂层（TiN）
TiN是一种通用的涂层，可以提高刀具硬度并具有较高的氧化温度。
用途：高速钢切削工具，慢速加工工具（如低速车刀粒），漯河不锈钢镀钛怎么收费，耐磨零件，表面不锈钢镀钛怎么收费，注塑
模具。
2）氮碳化钛涂层 （TiCN）
TiCN涂层是在TiN的基础上添加碳元素，以提高涂层的硬度和低的摩擦系数。
用途：高速具，冲压模具，成型模具
3）氮铝钛（TiAlN）、 氮钛铝AlTiN
俗称：中铝（Al:Ti=50:50）、高铝（Al:Ti=67：33）以上，
TiAlN/AlTiN涂层在加工过程中形成的氧化铝涂层可以有效提高加工工具的高温加工寿命，AlTiN涂层的抗高温氧化比TiAlN要高100度左右。
靶材承受的功率密度是有限的.靶面温度过高会导致靶材熔化或引起弧光放电.在直接水冷的情况下，金属靶材的靶功率密度允许值为10~30W/cm2.根据选定的靶电压和允许的靶功率密度，即可确定靶电流密度.
降低Ar压强有利于提高镀膜速率，还有利于提高膜层结合力和膜层致密度.磁控溅射的Ar压强通常选为0.5Pa，金属不锈钢镀钛怎么收费，气体放电的阻抗随Ar压强的降低而升高.磁控溅射时，可以适当调节Ar压强，
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