质量流量控制器在高压条件下如何使用?
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1， 是要选择耐压符合要求的MFC; 2， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3， 要在MFC气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点， MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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体积流量的表示方法
对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，气体流量控制模块，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
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质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?
质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体，气体流量控制模块厂家， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，气体流量控制模块公司， 需要向供货厂商特殊声明使用气体，气体流量控制模块哪家好， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。
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