显微镜
观察头：铰链式三目观察头，30°倾斜，瞳距48～75mm目镜：超大视野目镜 10X/22无xian远平场消色差物镜：4X/0.1，10X/0.25，20X/0.4，40X/0.65转化器：四孔转换器载物台：载物台面积300×268mm，SU8模具加工设备报价，移动范围250×250mm焦距调节：同轴粗微动调焦机构，行程24mm照明系统 ：6V20W卤素灯，亮度可调滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片
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日常维护
1、定期清理平行曝光机的载台，防止它们因积尘或灰尘而影响加工。
2、保持曝光机的表面清洁，防止灰尘和杂质进入设备内部。
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耗材
硅片
硅片没有特殊要求，单面抛光即可。制备SU8模具时在硅片抛光旋涂光刻胶。
光刻掩膜板
光刻掩膜版（又称光罩，英文为Mask Reticle），简称掩膜版，SU8模具加工设备作用，是制备SU8模具光刻工艺所使用的图形母版，盐城SU8模具加工设备，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成微结构掩膜图形，通过曝光过程将微结构图形信息转移到SU8光刻胶涂层上，实现微结构的jing确复zhi。光刻掩膜版，一般可分为菲林掩膜版和玻璃掩膜版两种。
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