气体质量流量控制器如何选择密封材料
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
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流量控制单元（FSCU）
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FSCU可通过触摸屏、PLC、PC软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器（如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat等品牌）及电磁截止阀开关，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，气体质量流量计数字控制模块哪家好，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。
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FSCU介绍
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