







PVD技术的应用范围及优缺点
其应用范围是:
1)碳钢、合金钢、不锈钢及钛合金等金属材料;
2)金属材料的表面硬度至少需要在HV170以上。
其优点是:
与传统磁控溅射单色PVD技术相比,双色PVD工艺更为复杂,流程更为繁杂,生产难度高,但外观效果,两种颜色的表面硬度都在HV600以上。
传统磁控溅射单色PVD技术要在实现双色效果,采取的工艺措施是在整体PVD单色的基础上把需要实现另一种颜色的区域激光镭雕掉或者磨掉。
电子束蒸发镀膜
利用高速电子束加热使材料汽化蒸发,在基片表面凝结成膜的技术。电子束热源的能量密度可达104-109w/cm2,可达到3000℃以上,金属镀钛服务,可蒸发高熔点的金属或介电材料如钨、钼、锗、SiO2、AL2O3等。
电子束加热的蒸镀源有直型电子和e型电子两种(也有环行),电子束自源发出,用磁场线圈使电子束聚焦和偏转,对膜料进行轰击和加热。

离子镀
在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离,镀钛服务,并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下,商丘市镀钛服务,将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。可将离子发生源与工作室分离,真空镀钛服务,克服了溅射镀膜为了持续放弧而必须保持较高的工作气压的缺陷,高能离子对衬底和沉积薄膜表面的轰击保证了薄膜的附着力和质量,是一种结合了蒸发镀膜和溅射镀膜优势的PVD技术。
根据离化方式的不同,常用的离子源有考夫曼离子源、射频离子源、霍尔离子源、冷阴极离子源、电子回旋离子源等。

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