




气体质量流量控制器工作压差范围是个什么概念?
气体质量流量控制器在进出气接头两端有一定的压力差下才能正产工作,MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差小于0.1 MPa,甘肃气体质量流量计控制器, 有可能操控流量达不上满量程值; 若高过0.3MPa, 有可能在关闭状态下仍有气体通过,即电磁阀漏气。客户应用MFC时, 无论客户工作的反应腔室是真空环境还是是髙压状态,气体质量流量计控制器哪家好, 都应保证MFC进出气两端的压差维持在所规定压差范围内, 而且压差要相持续稳定。

如何通过质量流量控制器判断没有气体通过?
质量流量控制器(MFC)是用来控制气体流量的,气体质量流量计控制器公司,质量流量计(MFM)是用来测量气体流量,如果你需要检测气体流量需要用MFM。 当然MFC还是有检测方法的,如果通过气体流量比较大,压比较大,气体质量流量计控制器报价,可以为MFC设定一个大流量,MFC会反馈一个值,这个值就是气体的流量。 如果流量比较小,压力比较小MFC就不能测出来了,因为MFC压损通常是比较大的,如果气体流量比较小,压力比较小就没办法测量了,就需要抵压损的MFM。

气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

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