





与其他外延方法相比;它具有如下的优点:1)生长设备比较简单,;2)有较高的生长速率;3)掺杂剂选择范围广;4)晶体完整性好,外延层位错密度较衬底低;5)晶体纯度高,生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物,操作安全、简便等。LPE的不足在于,安徽1260液相,当外延层与衬底晶格常数差大于1%时,不能进行很好的生长。其次,由于分凝系数的不同,除生长很薄的外延层外,在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。

超低的交叉污染:1260 Infinity II Multisampler 的多重清洗功能可在运行之间清洗所有相关的进样部件,并使用针座反冲程序用三种溶剂冲洗进样针外部,使残留降至 10 ppm 以下缩短分析周期:采用的安捷伦双针头设计,可以通过两个进样通道交替运行样品。可将分析周期缩短至数秒钟,几乎消除了传统的等待时间 — 无论大体积上样还是执行冲洗步骤

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