法 将硫磺或其他硫化物在和二存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。与氟燃烧法。联产法 氯氟代和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。 [3] 作用用途编辑1、新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
急救措施
吸入:迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
消防措施
危险特性:若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆i炸的危险。
有害燃烧产物:氧化硫、氟i化氢。
灭火方法:该品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
泄漏应急处理
应急处理:迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，六氟化硫作用，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
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