广东潽拓光电(图)-瓦里安真空泵权限调试-江门瓦里安真空泵

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真空泵维修之常见问题：

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真空泵油积碳，瓦里安真空泵维修及保养，发黑，像油泥一样，所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时，要把真空泵油更换掉，瓦里安真空泵保养配件，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，江门瓦里安真空泵，再次清洗各真空室。这样经 2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。

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VARIAN TV301分子泵特点功耗更低、性能更佳通过减少发热而节能，并提高可靠性为风冷而优化的冷却翅片通过降低工作温度进一步提高可靠性泵具有优化的几何尺寸功率要求低，前级耐压高及可承受高气载可拆卸的前级连接器可连接各种前级泵 冷却方式灵活（风冷或水冷）

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涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用。然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。