真空碳氢清洗机的超声波振动使得气泡迅速增长，真空碳氢清洗设备工作原理，其在增长过程中会吸收清洗液中更多的气泡，气泡越来越多，会形成密集状态，这时气泡会缩小，在这个过程中液体的质点运动速度和越来越小的气泡半径形成反比关系。当达到一定条件时就会形成空化作用，其实在清洗零件过程中所发生的空化作用的原理是这样的，即气泡快要闭合时，液体的质点运动突然停止
利用真空突沸效应，提高干燥速度。由于碳氢清洗剂的沸点都在140℃以上，在常温常压下挥发一般需要一小时左右。这样的干燥速度肯定不能满足工艺清洗的节拍要求。而用加热烘干的方法又容易产生火险，这也是碳氢清洗剂在中国未得到广泛应用的主要原因之一。真空清洗干燥机一般是将蒸汽清洗与真空干燥在一个槽中进行，真空碳氢清洗设备，在对工件进行蒸汽清洗的同时使工件温度升高，然后使干燥槽迅速进入更高的真空状态，工件表面的清洗液会突然沸腾（真空突沸效应）而迅速挥发干净。
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