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膜盒真空计的另一种形式，是差分应变管式真空计。其参考室已不再是由部分玻璃组成的密封室，而是改由与应变管完全对称的密封应变管，管内压力维持在0.Pa 以下，作为参考压力。测量时由于压力差，使齿轮转动装置带动指针偏转。在传动装置中串有齿条，这样便可指示出微小的压力变化。这种真空计的量程一般有 10~2700100~13500100~10Pa 三种。

 瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计有MPG400和MPG402个型号，inficon英福康真空计保养价格多少，测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压)。1torr到1000torr4种可选压力单位（乇，毫，毫巴，PA）数字信号处理D-SUB15针CE认证维护自由技术规范。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内，大大地降低了安装，设置和集成的复杂性。

真空计(Vacuum Gauge)，c真空表，是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。

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喷吹法检漏

　　喷吹法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷连续向ke疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。氦质谱检漏仪维修厂家

背压法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。

何特定的物理现象与压力之间的关系在一定的压力范围内*为显著，超过这个范围后，这种关系变得很弱。因此，任何方法都有自己的测量范围，即真空计的“范围”。尽可能扩大各种方法的范围是真空科学研究的重要内容之一。现代真空技术涉及的压力范围宽达19级（105 ~ 10-14pa）。没有真空计能测量如此宽的压力范围。因此，通常使用几个真空计来控制某些区域。然而，由于各种真空计的原理不同，它们连接的区域往往会产生较大的误差。

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真空技术一般由真空获得、真空测量、真空检漏、真空系统等部分内容组成。真空测量所述及的范围，要从大气压开始直至 10-"Pa 左右，跨越了十几个数量级。在这样宽广的玉力范围内，是不可能只用一种量计来完成的。于是目前已出现了近十种不同工作原理上百种不同类型的真空测量计具，简称真空计。

在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形，使得金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量，即可知道金属膜片上气压的变化。

这种规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

皮拉尼型真空计性能特点

优点:

较大的测量范围

较好的重现性

制作成本较di，价格比较合适

较快的相应时间

缺点:

不同的气体类型影响测量精度(通常要以氮气或空气校准)

测量对污染敏感的

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